다층박막 탐침기반리소그래피 구현 100 nm 이하 플라즈몬 나노 구멍 배열 연구

项目来源

韩(略)科(略)

项目主持人

장(略)

项目受资助机构

동(略)교

项目编号

1(略)1(略)2(略)

立项年度

2(略)

立项时间

未(略)

研究期限

未(略) (略)

项目级别

国(略)

受资助金额

3(略)6(略).(略)元

学科

未(略)

学科代码

未(略)

基金类别

개(略)연(略)기(略))

关键词

未(略)

参与者

未(略)

参与机构

未(略)

项目标书摘要:연구(略) 본 연구과제는“(略)기 플라즈몬 나노(略)구”를 최종 목표(略)도달을 위한 세부(略).1.기 개발된 (略)법에 다층박막을 (略)하(목표 50 n(略) 구멍 구현 2.(略)반 플라즈몬 나노(略)기,간격,단위 나(略)3.확보된 플라즈(略) 물성 연구   (略)다층박막 탐침기반(略)0 nm 이하 플(略)현-일차원 배열 (略)elf-assem(略)yers(SAM)(略)oshaving (略) 급 크기 플라즈(略)제작-다층박막(고(略)having 시 (略)촉 면적 최소화 (略)열 탐침 프로브 (略) press li(略)용 50 nm 크(略)멍 구현 세부 목(略)멍 배열 구조 제(略)및 간격이 조절된(略) 배열 구현-단위(略)l)나노 구멍 개(略)나노 구멍 배열 (略)된 플라즈몬 나노(略)연구-유한차분시간(略) 확보된 플라즈몬(略)조의 물성 연구-(略)배열 시료의 광학(略)특이 광투과(EO(略)현미경,빛조사 주(略)소영역 플라즈몬 (略)의 물성 측정 연(略)본 과제의 연구수(略)는 강한 양자구속(略) 나노 구멍 배열(略)며,배열 구조 제(略) 메커니즘 연구 (略)로,금속 나노 구(略)연구 분야의 학문(略)로 기대된다.▪ (略)은 화학 물질 또(略) 소재로 많은 응(略)본 연구과제 수행(略)0 nm 이하 금(略)소재를 활용한 고(略)로 활용할 수 있(略)멍 배열 기반 나(略)화 연구 지속을 (略) 기술의 상용화,(略)있다.▪ 플라즈몬(略)조 광특이성(EO(略)전문연구자 양성을(略)기술분야 연구인력(略)있다.

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