利用F2准分子激光实现亚半微米光刻
项目来源
国(略)科(略)((略)C(略)
项目主持人
黄(略)
项目受资助机构
中(略)院(略)学(略)械(略)
项目编号
6(略)8(略)
立项年度
1(略)
立项时间
未(略)
研究期限
未(略) (略)
项目级别
国(略)
受资助金额
1(略)0(略)
学科
信(略)-(略)光(略)-(略)光(略)料
学科代码
F(略)5(略)5(略)
基金类别
面(略)
关键词
半(略)光(略)2(略)光(略)
参与者
路(略)王(略)袁(略)蒋(略)沈(略)杜(略)
参与机构
中(略)院(略)学(略)械(略)
项目标书摘要:利用(略)准分子激光和全反射(略)现亚半微米光刻分辩(略)变成像方式及缩短曝(略)纪初的4兆位半导体(略)力,从而大大降低该(略),本研究也是光学光(略)
项目受资助省
上(略)
- (略)