TBC电池工艺P/N区poly Si厚度下降至150nm以内发布机构：（略）发布日期：2024-08-21 至 附件：0个联系人：（略）联系电话：（略）邮箱：（略）预算金额：8600万元人民币目前量产及实验室T（略）i均为LPCVD法（略）m以上。过厚的po（略）D的石英工装及炉管（略）时，过厚的poly（略）法较好的生长pol（略）问题为爆膜、膜层均（略））。通过降低pol（略）m以内，解决以上两（略）
